近日，TDK株式會社宣布推出兩款新的銅內電極壓電執行器——COM30S5和COM45S5，其采用符合RoHS要求的鋯鈦酸鉛 (PZT) 材料制成。
據介紹，新款元件采用TDK基于銅電極的HAS技術，以無外殼封裝的被動元件供貨，實現了良好的動態范圍、高力量/體積比和納米級精度。比之其他技術，采用HAS技術的壓電執行器性能更佳，濕度穩定性更好、使用壽命更長。
圖源:TDK
兩款新元件覆蓋電壓范圍為-10至+180 V，額定位移在+160 V處達到，允許的表面溫度范圍為-40至+160°C，高度分別為30 mm和45 mm，橫截面尺寸為5.2 mm x 5.2 mm，并且在160 V和730 N的預緊力條件下可實現55 ?m 和 83 ?m (COM45S5) 的位移。
TDK透露，公司計劃于2023年再推出另外三款執行器，以滿足更廣泛的應用要求。目前，這些執行器僅作為少量原型樣品供應，尚未量產，具體包括高度為10 mm、位移量為16 ?m的COM10S5；高度為27 mm、位移量為 47 ?m的 COM27S3；以及高度為30 mm、橫截面為7 mm x 7 mm、位移量為55 ?m、推力高達2600 N的COM30S7。
此外，TDK也強調，公司壓電執行器應用范圍廣，適合包括納米級定位技術、工藝工程中液體和氣體的高精度閥門控制，以及半導體制造等高端解決方案在內的諸多應用。
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